|
|
|
Главная --> Справочник терминов Ускоряющего напряжения По окончании реакции колбу соединяют с воздушным холодильником и, заменив капельную воронку термометром, отгоняют избыток уксусной кислоты. Перегонку следует вести под тягой, так как при этом выделяется бромистый водород, в качестве приемника применяют мерный цилиндр. После того как отгонится около 20 мл уксусной кислоты*, перегонку прерывают и удаляют воздушный холодильник, дальнейшую перегонку ведут без холодильника. В пределах 120—220° отгоняются остаток уксусной кислоты и большая часть не вошедшего в реакцию нафталина. При 220—270° переходит небольшое количество нафталина в смеси с бромнафталином. Когда температура достигнет 270°, меняют приемник, усиливают нагревание и в пределах 270—282° перегоняют бромнафталин. В медный или никелевый тигель помещают едкий натр и 3 м л воды и, помешивая термометром, защищенным медной гильзой, нагревают до 280°. Глаза и руки должны быть при этом защищены от попадания брызг щелочи. Как только температура достигнет 280°, возможно быстро вносят нафталинсульфокислый натрий, наблюдая, чтобы температура не падала ниже 260°. Затем несколько усиливают нагревание; реакция начинается при 300°. При 310—320° расплав темнеет и становится жидким и через несколько минут реакция заканчивается. Горячий расплав немедленно выливают на металлическую пластинку с загнутыми краями,.дают остыть, растворяют в небольшом количестве воды и при нагревании подкисляют смесью равных объемов концентрированной, соляной кислоты и воды. По охлаждении выделившийся р-нафтол отсасывают и перекристаллизовывают из горячей, подкисленной соляной кислотой воды. 3-Нафтол получается в виде бесцветных листочков. Смесь нагревают минут 40—50 до слабого кипения, наблюдая, чтобы жидкость не перегонялась. Затем усиливают нагревание и, используя в качестве приемника мерный цилиндр, регулируют отгонку таким образом, чтобы за 10 мин. отгонялось около 5 мл жидкости. Когда температура паров поднимется до 160°, удаляют воздушный холодильник и отводную трубку колонки вставляют непосредственно в сухой приемник, который погружают в чашку е холодной водой; продолжают перегонку и, когда температура поднимется до 210°, меняют приемник (взамен него берут предварительно взвешенную коническую колбу) и .перегоняют почти чистый ацетамид в пределах 210—216°. В маленькую сухую перегонную колбу помещают фосфорный ангидрид и при встряхивании тщательно смешивают его с ацет-амидом. Колбу соединяют с коротким холодильником и осторожно нагревают на небольшом светящемся пламени горелки, равномерно обогревая дно колбы. Затем усиливают нагревание и отгоняют ацетонитрил. В фарфоровой чашке растворяют монохлоруксусную кислоту в 50 мл воды и при слабом нагревании (примерно до 50°) нейтрализуют углекислым калием (или углекислым натрием). К полученному раствору хлоруксуснокислого калия (под тягой) при тщательном перемешивании очень медленно прибавляют хорошо измельченный цианистый калий и постепенно усиливают нагревание. Реакция сопровождается сильным вспениванием массы. По окончании реакции смесь упаривают, нагревая по возможности быстро при перемешивании на песочной бане до тех пор, пока тягучая коричневатая масса не нагреется до 135°. Присоединив поглотительные приборы, проверяют плотность всех соединений; убедившись в герметичности аппаратуры, через трубку начинают пропускать медленный ток кислорода (2 пузырька в секунду) и, не прекращая нагревать переднюю часть трубки, зажигают горелки под окисленной медной спиралью. Сначала ее нагревают на маленьком огне, а после того как трубка прогреется, постепенно усиливают нагревание и доводят этот участок трубки до тёмнокрасного каления. Затем зажигают горелку под той частью окиси меди (обращенной в сторону лодочки с веществом), которая осталась ненагретой. Если вещество не содержит азота, то регулируют пламя таким •образом, чтобы трубка под / и 2/з * была нагрета до слабого красного каления. Затем зажигают горелку, находящуюся под д. Когда медная сетка сильно нагреется, пропускают слабый ток кислорода (от 2—3 пузырьков в секун iy) и постепенно зажигают горелки под ненагретой еще частью окиси меди, медленно приближая пламя к месту, где находится лодочка. Когда лодочка с веществом нагреется до соответственной температуры (различной в каждом отдельном случае), то начинается или испарение вещества, если оно летуче, или сухая перегонка, сопровождающаяся образованием летучих веществ. В последнем случае надо следить за тем, чтобы это разложение происходило при низкой температуре, и тем избегнуть возможности образования трудно сгорающего угля. В общем регулируют нагревание и пропускание кислорода таким образом, чтобы в калиаппарате появлялось не больше 3—4 пузырьков в секунду. Если выделяется большое количество пузырьков, то уменьшают пламя, находящееся под веществом, открывают кафли и уменьшают приток кислорода. Если бы при этом раствор едкого кали начал перетягиваться назад, тогда быстро пропускают ток кислорода. Когда выделение пузырьков в калиаппарате замедляется, тогда постепенно усиливают нагревание того места трубки, где находится вещество, зажигая горелки под лодочкой, и это продолжают в направлении к г до тех пор, пока все горелки не будут зажжены. При правильно проведенном сожжении часть окиси меди вблизи * восстанавливается до красной меди, и в лодочке не остается или очень мало остается угля. При сжигании некоторых веществ нельзя избегнуть образования угля в лодочке, и последний сгорает только при сильном нагревании в токе кисло* рода. Колбу закрывают пробкой с одним отверстием, в которое вставлена фракционная колонка длиною в 90 см, соединенная с холодильником и приемником. Холодильником служит стеклянная трубка длиною в 150—200 см. Смес^ нагревают до слабого кипения, дальнейший лагрев регулируют с расчетом получения около 180 мл погона в 1 час. Такая перегонка продолжается в течение 8—10 час. (пока температура в верхней части колонки не достигнет 110°). Объем ,дестиллата, состоящего из водной уксусной кислоты, достигает 1400—1500 мл. Затем меняют приемник, постепенно усиливают •нагревание и продолжают перегонку до тех пор, пока температура в колонке не поднимется до 140°. Объем дестиллата, ^представляющего собой почти чистую уксусную кислоту, которую можно применить при повторении синтеза, составляет 500— 700 мл. ратным холодильником, помешают 21,6 г (0,1 моля) 5-л-то-лилметилфуран-2-карбоновой кислоты, с т. пл. 110° (см. стр. 67) и умеренно нагревают до расплавления, после чего усиливают нагревание. Выделение углекислоты, начинающееся при 185—190°, протекает с удовлетворительной скоростью при 200—210° и полностью заканчивается при 220— 230°. Весь процесс декарбоксилирования длится 50—60 минут. нет 270°, меняют приемник, усиливают нагревание и в пределах несколько усиливают нагревание; реакция начинается при 300°. Поэтому, чем больше ускоряющее напряжение между катодом и анодом, тем меньше длина волны. Изменение ускоряющего напряжения, например, от 50 до 100 кВ приводит к уменьшению длины волны приблизительно от 0,0055 до 0,0037 нм. как функция ускоряющего напряжения и дает масс-спектр; прн этом величина напряжения определяет массовое число иона, а величина лонного тока—количество различных ионов (рис. 101,а). Масс-спектр может быть зарегистрирован также и без сканирования магнитного или электрического полей. В таком случае разделенные пучки ионов направляются на фотопленку (в масс-спектрографе), мерой интенсивности ионов служит степень зачериення плеикн. ионов (г) зависит от величины ускоряющего напряжения (V)> a сканирование ускоряющего напряжения (V) при фиксированных истинное значение ускоряющего напряжения дается величиной Энергия, рассеянная в единице объема одним электроном /(г, z) (где г — радиус отклонения электрона при прохождении вертикального отрезка z), зависит от атомного номера элемента, атомы которого входят в состав вещества поглощающей среды, толщины подложки и слоя резиста, а также скорости падающих электронов (ускоряющего напряжения). Экспонирование резиста в местах, куда не падает первоначальное излучение, называется эффектом близости и ведет к значительным ограничениям формы Зависимость гпр от экспозиционной дозы определяется экспериментально измерением степени ионизации как функции проникновения электронного пучка или его проникновения в зависимости от ускоряющего напряжения. Зависимость К от f можно выразить в полиномной форме: рый наблюдается при конечной глубине проникновения и зависит от ускоряющего напряжения. Эта модель, использующая зависимость глубины проникновения z от дозы излучения, дает возможность вычислить энергию Е в точке гелеобразования, зная дозу излучения в этой точке, и предсказать зависимость дозы в точке гелеобразования от ускоряющего напряжения D[ = (Ua >r ), что хорошо согласуется с экспериментом. Найденные значения ц1 также согласуются с величинами, вычисленными по методу Монте-Каряо [12]. Таким образом, с помощью модели обратного рассеяния можно вычислить долю ОО в любой точке простой дополнительной модификацией плотности РМУ в виде /0(1 +l)- Чувствительность полидиаллилортофталатов в качестве негативных резистов колеблется в пределах 5-Ю-7 — 5- КН Кл/см2 [89]. Ее можно повысить снижением ускоряющего напряжения, что соответствует теоретической зависимости распределения энергии электронного излучения от ускоряющего напряжения. Экспонирование на металлических подложках также подтверждает влияние природы подложки на распределение энергии излучения в резисте. По данным ДТА и ТГА, в интервале 150 — 170 °С происходит структурирование полимера, разложение начинается при температуре выше 200 °С, а полностью полимер деструктирует при 350 С. На основе этих результатов для предварительной термообработки рекомендован интервал температур 100 — 130°С, для доотверждения — 170 — 190 °С, когда протекает дополнительное сшивание. Резисты этого типа были успешно испытаны для создания рельефов с размером элементов 1 — 3 мкм. Первыми полимерами этой группы, которые были испытаны в качестве негативных электронорезистов, были ЭПБ [пат. ФРГ 2706878] и ЭПИ [пат. США 3885060], которые могут содержать и атомы брома [пат. США 4279985]. Высокие значения чувствительности (О? ж 2 • 10~9 Кл/см ) растут с понижением ускоряющего напряжения [91]. В предположении цепного механизма структурирования эпоксидных групп в работе [92] приведено следующее выражение для чувствительности резиста (в Кл/см2) в зависимости от степени эпоксидирования а:  Установлению структуры Установлено положение Установлено следующим Установок непрерывного Установок сероочистки Устойчивые карбокатионы Устойчивые кристаллические Устойчивым соединением Устойчивое состояние |
- |
Навигация